米的国际标准长度已经用光来定义。由于激光发散性很小，测距精度高，人们在几十年前就开始用激光干涉仪来测距离。进而用它测直线度和角度，特别在较长距离的测量中发挥了它的优势。但是激光干涉仪使用时要求找好准直，如果干涉镜或反射镜偏离了激光光轴，那么就出错，而且不能断光再续，必须重新再来，甚至中间有东西当一下光也是如此。这些限制了它在空间坐标测量中的应用，另一方面激光终究是一个测长的工具，要用来做空间测量则必须寻求其他的定位装置。

激光跟踪测量系统(Laser Tracker System)是工业测量系统中一种高精度的大尺寸测量仪器。它集合了激光干涉测距技术、光电探测技术、精密机械技术、计算机及控制技术、现代数值计算理论等各种先进技术，对空间运动目标进行跟踪并实时测量目标的空间三维坐标。它具有高精度、高效率、实时跟踪测量、安装快捷、操作简便等特点，适合于大尺寸工件配装测量。

FARO Laser Tracker ION System
* 激光器要放在激光器的主机体内,全封闭,平衡设计，光束通过光纤传送，无反射镜(避免反射镜因经过运输而产生微小的位移就需要长的校准时间)，光纤具有稳定性好,制造精度高，激光光路部分全程完全密封，可靠性好，响应速度快。
* 内置综合气象站，能够测量环境温度、湿度、和气压，并自动补偿环境误差，保证设备的精度及稳定性. 控制器还可外接八个温度传感器(控制器上带八个接口),可对测量现场或大工件附近温度的变化误差进行自动补偿。
* 强强组合 TrackerArm 对于大型零件中的局部复杂测量,可结合测量臂来对跟踪仪进行隐藏点的补充测量,完全脱离激光束真正意义上的6自由度测量,并且能实现在同一坐标系下生成测量数据.
* 能实现干涉仪测量、干涉与绝对相辅测量和真正绝对测量的选择，独立的2路激光系统。在ADM(绝对测量)模式下，能够实现高精度，高效率的扫描测量。
* 为了保证机器的热稳定性，光学仪器、电子仪器和激光源不得集成在同一空间，并且在激光头部要有散热孔.
* 主机配备3个跟踪器安装复位器TMR,可同时放置3个(1.5",0.875",0.5")反射镜标靶,为了提高稳定性,此复位器必须是跟踪仪主要构件的一部分,不得使用螺栓固定。
* 具有内置电子水平仪，可以自动进行水平面的测量，也可以实现对工件的调平。

简介
激光跟踪仪 概述
在直角坐标系、圆柱坐标系及球坐标系中唯有球坐标系是只要求长度量的，其他两个角度量完全可以用现代精密的角度编码起器完成。

现在的三大技术，即:精度的角度编码器、续光再续和激光催生了激光跟踪仪。
T-Probe的发明使隐蔽处测量成为可能，尤其是对方向姿态的测量大大扩展了激光跟踪仪的应用，例如可以用于机器人姿态的动态测量。

激光跟踪仪在汽车、航空航天和通用制造领域工装设置、检测和机床控制与校准应用中得到普遍认可，其中以Leica居多，拥有全球1600多台的装机量。激光测量技术如今已开始广泛应用。

影响激光跟踪仪精度的因素

由于激光跟踪仪是利用激光测距，所以测距精度很高，但角度编码器随着距离的加大带来的位置误差亦很大，所以跟踪仪本身主要是角度误差。

在激光跟踪仪的应用中靶标对测量精度的影响亦不可忽视，通常靶标外形为球形，内部为3个互相垂直的反射镜（CCR）。若三个反射镜的角点和外球的中心不重合或3个反射镜面相互不垂直都会引起误差，因此在同一次测量中推荐使用同一个反射镜，同时反射镜不要绕自身光轴转动。

激光本身受大气温度、压力、湿度及气流流动的影响，所以大气参数的补偿对此仪器的正常使用十分关键。